清洗头结构包括：两个超声波压力腔 一个真空腔（用来清除尘粒）
喷嘴产生的高压气刀有效的清除50-100μm的尘粒。这些尘粒被吸附至真空腔，工件在运行过程中表面会形成一层空气附着层，超声波可以有效破坏该附着层，从而使包裹着附着层内的微小颗粒分离出来，最后被真空吸走，达到清洗的目的。

●3μm及以上的尘粒的去除率不低于98%。
●由于的气流平衡设计，可同时安装两个清洗头同时工作，进行双面清洗。
●从中间喷嘴吹出的气流得到充分的应用，控制了整个气流和真空，从而保证了持续的清除性能不受材料厚度的影响。
●高效的气流控制，一些低压气流也能得到应用，减小了损耗。
●非接触式的清洗方式被清洗的工件免被划伤或损坏。
●闭环系统不会破坏生产车间（洁净室）的气流平衡。
●不需要高额的消耗品，如高纯水或化学药剂等，同时不需要后续的烘干，降低了生产成本并缩短了生产线长度。
●超声波发生器性能衰减。