主动式气动悬挂系统MAPS系列

MAPS可以消除无源系统无法消除的频带宽度的振动。

单元式主动隔振器

业务领域

对于半导体

特征：

尽管MAPS具有紧凑的尺寸，但它可以隔离六个自由度的振动

Meiritz提供的MAPS系列的每个单元都有两个气压执行器：一个用于垂直，另一个用于水平。

使用MAPS，您可以体验出色的隔振，抑制振动和精确定位的性能。

MAPS可以消除无源系统无法消除的频带宽度的振动。

由于固有频率引起的谐振经常会在无源隔离系统中引起麻烦。共振使振动的幅度增加三倍或更多。但是可以通过使用MAPS消除共振。在此频率范围内可以获得出色的隔离性能。例如，与大多数无源隔离系统相比，可以将典型无源隔离系统谐振附近的2Hz振动消除到小于1 / 30-1 / 100。

可以通过标准类型的MAPS将10吨或以上的设备与振动隔离开

最近的精密机器显示出由于功能实现而变得更大的趋势。有些设备的总重量已经超过10吨。由于装置的扩大，难以保持装置的结构固有频率高。这是为什么需要在低频下具有优异性能的主动隔振系统的原因之一。

即使携带可以在舞台上工作的设备，也可以保持稳定。

例如，如果某个设备具有通过XY位移台进行的某些移动，则该设备会以较大的幅度摆动，并且

在无源隔离系统（如空气固定架或橡胶固定架）上的振动会增大。可以在主动隔振

器上减小摆幅，因为它受到反馈控制，以保持位置稳定。并且，如果可以将台架的运动预先输出为电信号，则可以得到几乎不摆动的环境，因为可以对MAPS进行前馈控制，使得摆动可以变得最小。

MAPS在精确定位和精确水平方面非常出色。

当设备的尺寸变大时，倾斜也会引起麻烦。由于其笨重，它在倾斜时会倾斜和下垂，并且精度会受到显着影响。MAPS使倾角变小，并且可以保持精度处于良好状态。例如，MAPS使晶圆或LCD面板的顺利交付成为可能。

所有类型的MAPS都易于安装。

我们听取客户的要求，并把所有必要的功能挤在MAPS系列中。安装MAPS只需很小的空间，并且您可以得到不受振动影响的环境。由于MAPS系列的控制系统非常稳定，因此我们不仅可以作为工厂的设备，而且可以作为待售产品的附件来自信地处理MAPS系列。

MAPS是组成精密设备的重要部分之一。

似乎有很多客户仅从焦虑到振动都使用隔振装置。当当今进行高精度，高性能和大型化时，必须具有不受振动影响的环境，才能显示出规格表中所述器件的全部性能。隔振装置是构成精密机械系统而不是辅助装置的部件之一。

开始开发时与我们联系。

MAPS系列具有隔振，定位和校平所需的所有功能。而且不需要很大的安装空间。即使在完成设备开发之后，

MAPS仍可以组装到设备中。但是，在这种情况下，经常会出现各种限制。从隔振性能和成本角度来看，这都不是一个好方法。当开始开发新设备时，我们想听听您对设备的想法，并希望就MAPS的安装空间，隔振性能和定位精度进行必要的安排。通过采用我们建议的这种方式，可以将您的振动环境吸引到理想状态。

仕様