1、技术参数

产生出的等离子尺度约1.2*10mm；

等离子体边缘有冲击波密度增强；

等离子体密度10*e-17~10*e-19cm-3；

喷气时间可控，延时可控；

喷嘴可承受的气压约8MPa；

真空中漏气率小于10-4torr。

2、装置组成：

控制器（LX-03R）——对电磁阀进行开关控制，并与外部信号实现同步；

电磁阀（A2-6系列）——受控制器控制，在真空中产生超声波脉冲式的气流；

特殊构型喷嘴（MS系列）——根据空气动力学设计，对脉冲气流进行约束整形，获得利于激光等离子体相互作用的超声波束流。

        日本SMARTSHELL超音速气体喷嘴系统采用特殊的狭缝喷嘴，在微小区域内产生局部均匀的气体射流，阀门可通过适当的驱动脉冲控制高速开合（100-200μs），即使在10MPa的情况下，阀门也能打开并提供稳定的喷射气流。并且日本SMARTSHELL超音速气体喷嘴Smartshot系列已经在2004年4月2日通过日本国特许厅申请，号为2004-100878。

        根据气体的密度和种类，目标尺寸，流量，气体压强等选配不同系列内的不同型号。