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石墨坩埚加工设备精度检测

1、对不同形状的导轨，各表面应分别控制哪些平面的直线度误差？

答：石墨坩埚加工设备导轨常见形状有矩形导轨和V形导轨。矩形导轨的水平表面控制导轨在垂直平面内的直线度误差。矩形导轨的两侧面控制导轨在水平面内的直线度误差。对V形导轨，因为组成导轨的是两个斜表面，所以两个斜表面既控制垂直平面内的直线度误差，同时也控制水平面内的直线度误差。

石墨坩埚加工设备导轨直线度误差的检测方法有哪些？

答：导轨直线度误差常用检测方法有：研点法、平尺拉表比较法、垫塞法、拉钢丝检测法和水平仪检测法、光学平直仪（自准直仪）检测法等。

什么叫研点法?

答：使用扁尺检测导轨的直线度误差时，在被测导轨表面均匀涂抹一层薄薄的红色油，用扁平量规覆盖导轨表面，并使用适当的短距离往复运动压力。研究这一点，然后取下扁平尺，观察被测导轨表面磨点的分布和研究点的密度。如果研究点均匀分布在导轨的整个长度上，则意味着导轨的直线度误差已达到扁平尺的相应精度要求。此方法称为点方法。

磨点法中使用的平尺是标准的平尺，精度等级根据被检轨的精度要求选择，一般不低于6级。长度不短于待检查导轨的长度（在精度要求较低的情况下，扁平尺的长度可比导轨短1/4）。

哪种导轨直线度误差检测适合于研究点法？

答：使用刮削方法修剪导轨的直线度误差时，主要采用磨削点法。磨点法经常用于检测较短的导轨，因为扁平尺在超过2000mm时容易变形，制造困难，并且测量精度受到影响。当刮削短导轨时，导轨的直线度误差通常由扁平量规的精度确保。同时，还需要每单位面积的研磨点的密度。根据石墨坩埚加工设备的高精度加工中心和导轨的精度要求。该位置的性质和重要性被定义为每25mm×25mm不小于10至20个点（即，每次刮削的点数）。

用磨点法测量导轨直线度误差时，由于不能测量导轨直线度的误差值，一般在有水平仪的情况下不需要用磨点法进行最终检测。但是，需要指出的是，在没有测量仪器（矫直机、光学矫直机等）的情况下，采用三平尺相互研究的方法制作的测试尺，可以有效地满足一般情况下短导轨直线度误差检测的要求。石墨坩埚加工设备。

平尺仪的比较法适用于测量导轨哪个平面的直线度误差。

答：平尺比较法通常用于检测垂直平面和水平面中短导轨的直线度误差。为了提高测量读数的稳定性，在被检导轨上移动的喇叭长度一般不超过200mm，喇叭与导轨的接触面应与待检导的导轨一起刮削，以便接触良好，否则测量会受到影响。准确性。

主要结果如下：

(1)垂直平面直线度误差的检测方法，将平面工作面水平放置在导轨旁边，距离越近，距离越好，以减小导轨畸变对测量精度的影响。在导轨上放置一个石墨坩埚加工设备钢轨，在导轨上安装刮刀垫铁，使电表探头一个接一个地关心尺两端的表面，调整平面尺，使仪表表面的读数与尺两端的读数相等，然后移动垫铁，每200 mm读取一次仪表的值，每次读数的差异是导轨全长直线度的误差。为了避免刮点的影响，使读数准确，在公里探针下放置测量块。

（2）水平面内直线度误差的检测方法如图3—4所示，将平尺的工作面侧放在被检导轨旁边，调整平尺，使干分表在乎尺两端表面的读数相等，其测量方法和计算误差方法同上。