产品简介

UL1000Fab干式氦气检漏仪干式氦气检漏仪 UL1000 FabULTRATEST™ 传感器技术稳定性和灵敏度的新疆界，检漏低达 10 -12 atm/css The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。市场价： 0.00价格：0.00产品描述：：干式氦质谱检漏仪 ......

详细介绍

干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感器技术

稳定性和灵敏度的新疆界，

检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的真空结构，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管（根据 MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

15 级的宽测量范围
较短的抽气和响应时间
移动式全金属外壳，增加了便利性，具有可操作性
I-CAL 确保了在所有测量范围中提供的泄漏响应时间
抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比
旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
通过电子邮件进行软件更新
含两个灯丝离子源（3 年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
在现有工具中安装前对部件执行检漏
工艺气体系统的检查和安装
内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号	明细
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

规格

类型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（真空模式）可检漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦气（吸枪模式）可检漏率	mbar•L/s	8E-8
GROSS 模式进气口压力	mbar	15
FINE 模式进气口压力	mbar	2
ULTRA 模式进气口压力	mbar	0.4
抽真空期间的抽气能力	m³/h	25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦气抽气能力	L/s	7
ULTRA 模式氦气抽气能力	L/s	2.5
可检测质量数		2,3,4 amu
质谱仪扇形场		180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层		2
内置校准漏孔	mbar•L/s	e-7
测试端口	DN 25 KF	1
可调触发器		2
接口		RS 232
图形记录器输出	V	2 x10
输入/输出		PLC compatible
允许的环境温度（操作过程中）	°C	+10.....+40
保护类型		IP 20
重量	kglb.	110
尺寸（长x宽x高）	mmin.	1068x525x850
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
电源电压	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100