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面议10ppm手提式硅烷SiH4气体分析仪TD600-SH-B-SiH4主要参数：
| 检测气体 | 硅烷SiH4 | ||||||||
| 检测原理 | 电化学 | ||||||||
| 量程范围 | 0-10、50、99ppm可选、未列出量程可订制 | ||||||||
| 分 辨 率 | 0.001ppm或0.01ppm（0～10ppm），0.01ppm（0～99ppm） | ||||||||
