GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪

GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪

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2024-01-07 11:40:17
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深圳市科晶智达科技有限公司

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产品简介

简要描述:GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件下,迅速活化和清理材料表面。例如单晶片、光学元件、塑料等广泛的材料。 为了获得高质量的外延薄膜或者光学涂层,预行表面处理可以得到显著的效果。

详细介绍

GSL-1100X-PJF 等离子表面处理仪是一款紧凑的大气离子表面处理喷射系统,主要由射频发生器、离子束头组成。喷射的离子束流能在较低的温度和没有真空条件下,迅速活化和清理材料表面。例如单晶片、光学元件、塑料等广泛的材料。 为了获得高质量的外延薄膜或者光学涂层,预行表面处理可以得到显著的效果。

功能特点
技术参数
主要参数

● 输出频率:20-23KHz

● 等离子工作压力:0.048兆帕-0.068兆帕

● 输入电源:110/220,50/60Hz,小于1000W

等离子束头

● 离子束头:包括2个离子束头,圆头10-12mm,矩形头15-18mm

输入气体压力和工作气氛

● 小0.275兆帕

● 工作气氛可以是空气、氮气、氩气、混合气体(不要使用易燃易爆气体)

工作环境

● 温度< 42°C

● 湿度≤ 40%RH

● 没有

外形尺寸

外形尺寸:380 (宽)×210 (高)×500 (长) mm

净重

10 kg

认证

CE认证

质保期

● 一年保修,终身技术支持。

● 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

● 点击查看售后服务承诺书。

相关产品应用

● 这种大气等离子喷射流动系统非常适合在涂覆之前清洁塑料、聚合物和氧化物 基材表面。

● 该设备也可用于研究常压CVD

● 欢迎订购合肥科晶的自动扫描系统,实现10"×10"区域的清洁或涂层



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