• 低加速电压观察时分辨率更高，可更好地观察样品最表面的细微形状和更有效地降低样品的损坏
• 全新设计的电子光学系统和信号处理技术实现了高速扫描和低噪音的观察
• 和以前的常规扫描电子显微镜相比＊2自动功能缩短＊3了大约11秒
• 具有在低真空时可以非常好地观察样品最表面的细微形状的“UVD(超高灵敏度可变压力探测器)”＊4
• 具有实现了实时立体成像的“实时立体观察功能”

场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）

• 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
• 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
  (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
• 采用污染小、高真空样品仓
• 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2