氧化铝管堵（18 x 40 mm）

氧化铝管堵（120 x 50 mm，带孔）

1100℃流化床CVD(FBCVD)炉 (配φ22mm法兰用于粉末CVD)

手动切片机（4套模具（12,15，19&20mm）,可选10~24mm模具）

1100℃滚筒球磨机（可通入流动气氛）

800℃高洁净高真空高压热处理炉（腔体Ф720mm* D 900mm）

2×5通道注射泵

1200℃ 4温区坩埚可移动型管式炉

1100℃小型坩埚炉

硅材料综合测试仪

CR20XX 系列不锈钢垫片

金刚石抛光膏