2、激光平面干涉仪的工作原理 | 本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。根据近代光学的研究结果,光兼有波动与微粒两重特性。光的干涉现象是光的 波动性的特性。 |
| 3、仪器技术参数: | 1、标准平面(A面),不镀膜。 工作直径:D1=Φ146mm 不平度小于0.02μm(λ/30)。 2、第二标准平面(B面),不镀膜。 工作直径:D2=Φ140mm 不平度小于0.03μm(λ/20)。 3、准直系统:孔径F/2.8, 工作直径:D1=Φ146mm 焦距:f=400mm. 4、测微目镜:焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X,视场角2w=40o 成像物镜:I、D=4.5 П、D=7 Ш、D=10 f=16 f=23 f=37 5、干涉室尺寸:深260*宽300*190mm。 6、光源规格:激光ZN18(He-Ne). 7、仪器的外形尺寸:长*宽*高 350*400*720mm。 8、仪器重量:100公斤。 | | |