垂直量程

0.1nm 至 10mm（闭环无拼接）

垂直分辨率

0.1nm

电动样品台移动范围

±150mm (XY 轴 )/100mm(Z 轴 ),XYZ 三轴自动

横向取样间隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配备的 FOV 目镜和干涉物镜倍数决定 )

光学横向分辨率

350nm

台阶测试精度

0.75%

台阶重复性

<0.1% 1σ

倾斜调整

手动样品台调节 ± 6°

垂直扫描速度

47um / 秒，用户可自行设定

转塔调节

手动自动可选

分析软件功能

可进行两维和三维分析，多区域自动分析（可对目标区域进行统计编号，可自动分析目标区域内高度或深度分布情况），可分析表面粗糙度，可分析样品表面缺陷及台阶高度， 并可对多次测量数据进行统计，得到详细的统计报告（含平均值，方差，最小值，值等）。可进行编程自动多点测量。可提供的数据包括高逼真度的三维图像，二维剖面图， 以及大量完整的表面粗糙度参数。