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HG-OE-P 光纤法珀压力传感器是采用MEMS工艺加工的硅芯体进封装而成的压力传感器。其基本原理是采用光纤法珀测量压力的原理,在硅芯片上通过微加工制成法珀腔,在腔的一端形成对压力敏感的薄膜,当薄膜在承受外在压力的状态下使法珀腔长发生改变,该腔长的变化量与压力成正比,因此实现压力测量。
产品特点
高精度、高稳定性、高可靠性;
光纤传感器的特征:本质安全,不受电磁干扰、抗腐蚀、抗污染、抗雷击能力强,可在强电磁干扰、高雷击、易燃、易爆等恶劣条件下应用;
附近安装一只光纤光栅温度传感器,提高全温范围内的测量精度;
通用其他类型传感器使用的解调仪,良好的兼容性;
MEMS工艺微加工的硅芯片,性能稳定;