用电需求

220 V, 2 kW, 10 A, 60 Hz

用气需求

90 psi (6 bar)

外形尺寸 (W x D x H)

1,200 x 770 x 1,400 mm

重量

650 kg

认证标准

CE

定位精度

XY: ± 30 m @ 3 σ Z: ± 10 m @ 3 σ

X,Y,Z轴重复精度

XY: ± 15 m @ 3 σ Z: ± 5 m @ 3 σ

速度

1,000 mm/s (X, Y)

加速度

1.0 g

相机解析度

640 x 480 px (30 W)

驱动系统

AC servo

轨道形式

Belt

轨道承重

3 kg

适用最小产品宽度

50 mm

适用产品宽度

475 mm

适用最小产品长度

50 mm

适用产品长度

350 mm

软件操作系统

Windows 7

產品厚度范围

0.5–6 mm

通讯协议

SMEMA

等离子处理范围 (D xW)

475–350 mm

基本参数

等离子系统设备需求

RF功率

600W at 27.12 MHz

主要等離子气体

Argon

制程气体

O2, N2, or H2 (other upon testing)

气源压力范围

30–100 psig (0.2–0.7 MPa)