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SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器，是西安思微传感科技有限公司自主开发的一款高精度MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度的压力传感器，因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点，被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。
传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计，其工作方式为面内振动，通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率，再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。
SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器管壳为022Cr17Ni12Mo2（316L）不锈钢材质，并采用激光焊接工艺，可与多种规格的压力接口和电气接口连接，用户可根据其具体应用需求进行选择。
| 可选压力范围 | 过载压力 | 破坏压力 | 压力类型 | 可选补偿温度范围 |
| 140kPa | 3.0×F.S. | 3.5×F.S. | 绝压 | -10℃~50℃ |
| 280kPa | 1.5×F.S. | 2.0×F.S. | -40℃~80℃ | |
| 350kPa | 1.2×F.S. | 1.5×F.S. | -55℃~85℃ | |
| 1Mpa | 1.5×F.S. | 2.0×F.S. |
| 可选综合精度 | 长期稳定性 | 响应时间 | 起振时间 |
| ±0.01%F.S. | 提高级士0.01%F.S. | 压力从10%变化至90%F.S.时<25ms | 供电后250ms达到精度指标 |
| ±0.02%F.S. | 标准级士0.02%F.S. | ||
| ±50.05%F.S. |
| 加速度影响 | 测量介质 |
| <5Pa/g | 干燥无腐蚀性气体（硅片裸露结构） 无腐蚀性气体、液体（充油隔离结构） |
| 供电和输出 | ||||
| 供电电压 | 电流消耗 | 输出 | 输出范围 | |
| 15V±0.5V | 30mA | 压力频率 | 35kHz~45kHz | |
| 温度 | 频率 | 2kHz~7kHz | ||
| 电压 | 400mV~800mV | |||
| 电压 | 1000mV~1800mV | |||
| 电压 | 0~1500mV | |||
输出形式：压力输出为方波频率信号，温度输出为电压信号或方波频率信号，方波电平为5VTTL
| 压力接口 | ||
| A: M10×1外螺纹（hex22） | B: M12×1外螺纹（hex22） | C: M10×1外螺纹（60°内锥、hex22） |
D: M12×1外螺纹（60°内锥、hex22） | E: M10×1外螺纹（60°内锥、hexl7） | F: M12×1外螺纹（60°内锥、hex17） |
| 代码 | 颜色 | 定义 | 含义 |
| 1 | 红 | +15(V) | +15V电源接线 |
| 2 | 黄 | FREQ | 频率 |
| 3 | 绿 | TEMP+ | 温度+ |
| 4 | 白 | TEMP- | 温度- |
| 5 | 黑 | GND | 接地 |
| 型号 | 外形尺寸 | 重量 |
| A | φ25mm×98mm | 58g |
| B | φ25mm×37mm | 100g |
| C | φ25mm×44mm | 131g |
| D | φ25mm×51.5mm |
注：不包含压力接口及电气接口。
说明：所有尺寸的单位均为毫米。
例如：SRPS-QGA-R1-TA-A1-S1-1A1A/SRPS-BGA-R1-TA-A1-S1-1A1A
注：
1、SRPS-QGA系列，电子器件选用全国产级；SRPS-BGA系列，电子器件选用工业级。
2、F-F即输出为压力频率-温度频率；F-V即输出为压力频率-温度电压。
