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SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器,是西安思微传感科技有限公司自主开发的一款高精度MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度的压力传感器,因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点,被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。
传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计,其工作方式为面内振动,通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率,再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。
SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口,在保证性能的情况下,将传感器的尺寸压缩到最小,方便产品的拆卸与安装。
可选压力范围 | 过载压力 | 破坏压力 | 压力类型 |
140kPa | 3.0×F.S. | 3.5×F.S. | 绝压 |
280kPa | 1.5×F.S. | 2.0×F.S. | |
350kPa | 1.2×F.S. | 1.5×F.S. |
补偿温度范围 | 综合精度 | 长期稳定性 | 加速度影响 |
-10℃~50℃ | ±0.01%F.S. | 提高级士0.01%F.S. | <5Pa/g |
-40℃~80℃ | ±0.02%F.S. | 标准级土0.02%F.S. | |
-55℃~85℃ | ±0.05%F.S. |
响应时间 | 起振时间 | 测量介质 | 压力接口 |
压力从10%变化至供电后250ms | 供电后250ms达到精度指标 | 干燥无腐蚀气体 | φ2mm×7mm |
供电电压 | 电流消耗 | 输出 | 输出频率范围 |
15V±0.5V | 30mA | 压力频率 | 35kHz~45kHz |
温度频率 | 2kHz~7kHz |
输出形式:压力输出和温度输出均为方波频率信号,方波电平可选:3.3V TTL、5VTTL
型号 | 代码 | 定义 | 含义 |
A | 1 | NC | 常闭触点 |
2 | TEMP(TF) | 温度 | |
3 | AGND(G) | 模拟地 | |
4 | FREQUENCY(F) | 压力频率 | |
5 | AGND(G) | 模拟地 | |
6 | +15(V) | +15V电源接线 | |
7 | (NCS) | 控制线 | |
8 | (DOUT) | 输出 | |
9 | (DIN) | 输入 | |
10 | (CLK) | 时钟信号 | |
11 | DGND(DG) | 数字地 | |
12 | NC | 常闭触点 |
型号 | 代码 | 定义 | 含义 |
B | 1 | +15(V) | +15V电源接线 |
2 | GND(G) | 接地 | |
3 | FREQUENCY(F) | 压力频率 | |
4 | TEMP(TF) | 温度 | |
5 | SCL | 控制线 | |
6 | SDA | 数据线 |
型号 | 外形尺寸 | 重量 |
A | 55.6mm×41.6mm×12mm | 21g |
B | 45mm×28mm×12mm | 14g |
说明:所有尺寸的单位均为毫米。
例如:SRPS-QBA-R1-TA-A1-S1-1A1A / SRPS-BBA-R1-TA-A1-S1-1A1A
注:
1、SRPS-QBA系列,电子器件选用全国产级;SRPS-BBA系列,电子器件选用工业级;
2、封装尺寸为B的小型选型时,电子元器件仅有工业级。
3、F-F即输出为压力频率-温度频率。