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主要特性 | 最小值 | 典型值 | 值 | 单位 |
流量范围 | | +200 | | SLPM |
供电电压 | 8 | 10 | 15 | VDC |
功率损耗 | | | 60 | MW |
标定气体 | | 空气 | | |
线性误差 | | ±0.3 | | %读数 |
反应时间 | | 6 | | ms |
操作温度 | -25 | | +85 | ℃ |
储存温度 | -40 | | +90 | ℃ |
重复性和迟滞 | | ±0.5 | | %读数 |
流量参数
流量(SLPM) 典型值(VDC) 公差(VDC) 压降(英寸水柱) 0 1.00 0.05 0 25 2.99 -- 0.04 50 3.82 0.18 0.13 75 4.30 -- 0.21 100 4.58 -- 0.34 150 4.86 -- 0.65 200 5.00 0.36 1.09