霍尼韦尔/Honeywell数字式气体质量流量传感器HAF系列 ±50~±750SCCM-上海允申自动化科技有限公司手机版

产品简介

霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。

详细介绍

工作特性：

特性	参数值
供电电压	3.3Vdc ±10%；5.0Vdc±10%
供电电流	16mA
工作温度范围	-20~+70℃
补偿温度范围	0~50℃
零点精度	满量程的 ±0.02%
响应时间	1ms（典型值）
分辨率	最小12位
启动时间	17ms
预热时间	30ms
校准介质	氮气
总线标准	I2C，快速模式（至400 KHZ）
零点稳定性	偏移：满量程的±0.01%

额定参数：

特性	参数值
供电电压	-0.3VDC-6.0VDC
输出引脚电压	-0.3V-输入电压
储存温度范围	-40~+125℃
流量变化	5.0 SLPM/S
共模压力	25PSI
流量	10 SLPM