阀体                       316L /316L（VIM+VAR）
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫                   PCTFE 

工作压力                真空至 300psig
爆破压力                3000psig
流量系数                0.5 
工作温度                -10 ～ 70℃
内漏率                   ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率                   ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
内表面粗糙度         Ra≤0.1μm