一、概述：
SZT-5硅材料复合测试仪，是由二种硅材料测试仪器组合而成的。
1、二量程的电阻测量仪器，配以手持式四针测试头或座式测试架，可用来测量片状，柱状，或块状，电阻率
在0.01~200欧姆/厘范围内的半导体材料。通过对恒流源的调整，可以对某些测量结果进行修整，例如对普通硅材料的测试结果要乘以0.628的探险头修正系数，对硅材料薄层扩散和导电薄膜 “方块电阻“ 的修正系数为4.53等均可通过调正恒流电流加以处理。

2、整流法硅材料P-N极性判别仪，配有三针手持式探头，能对片状或块状电阻率在1000-0.01欧姆/厘米的。硅材料进行极性判别
本仪器工作环境条件为：
温　　度：18℃―25℃
相对湿度：50%－70%
工作室内应无强电场干扰，不与高频设备共用电源。

二、技术参数

1、测量范围
(1)电阻率测量：
电 阻 率 0.01-200Ω-cm
方块电阻 0.01-200Ω-口
电 阻 0.01-200.0Ω

2、数字电压表
(1)量 程: 200mV单一量程
(2)误 差: 读数 ±0.2%±3字
(3)输入电阻: >10MΩ

3、恒 流 源
(1)电流输出: 0~10mA连续可调
(2)量 程: 1mA, 10mA
(3)误 差: ±0.2%±3字,

4、手持式四探针测试头
(a)探 针 间 距:1mm
(b)探针机械游移率:±1.0%
(c)探 针 材 料:碳化钨,φ0.
(d)压力: 2Kg
(2)导电类型判别：
可对电阻率为1000-.0.01欧姆/厘米的硅材料作导电类型测定，同时可以声，光报警方式表示被测材料属于”重掺”。