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设备使用范围
1、本设备主要用于硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光。
2、创新是设计的基本理念,本设备在设计时认真分析和比较了国内外同类设备的结构功能特点,综合、归纳并采用了众多用户的成功经验和合理建议。着力提高设备的技术含量、运行精度和运行平稳性。
设备主要参数
1、研磨盘尺寸:Φ640mm×Φ235mm×30mm
2、研磨工件直径MAX:Φ210mm
3、游星轮参数:
英制DP12、Z=108公制M=2、Z=114
4、工件厚度min:0.40mm
5、每盘游星轮个数:5个
6、每盘研磨工件数:
(1)Φ50mm、40片
(2)Φ75mm、25片
(3)Φ100mm、10片
7、研磨盘转速:0~56rpm
8、电源:AC380V,50Hz
9、气源:0.5~0.6Mpa
11、外形尺寸:1650mm×1150mm×2530mm