曝光装置发光强度光量强度可通过UV-M03A简单的测量，小巧方便。

可以方便的测量紫外线发光强度和光量。

受光器，根据灵敏度以及测试范围有UV-25,35,42可供选择。在半导体，液晶用基板的制造的工序中请选UV-SD25,UV-SD35,UV-SD42；在电子电路(印刷)基板的制造工序中请选用UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42。

测量数据，可通过RS-232C接口连接到PC

同时还具有模拟输出。

◆关于SD型和SN型

　SN型由于承蒙从以前使用本公司制的曝光装置和照射装置等被的顾客宽广地采用的东西，确保着经过管理的继续性。
　SD型在半导体和液晶用基板的制造流程的现场，已经使用的顾客，如果被重视跟那些的测量器的数据的兼容性确保的(本公司制的曝光装置在投影型曝光装置和液晶基板用周边曝光装置SD型也被采用)，被新规章变成发光强度计等为使用的顾客推荐着其他公司制的发光强度计

◆参考参数

◆UV测量器受光器光谱灵敏度特性