分析等离子表面处理的原理
时间:2024-10-10 阅读:16
有很多小伙伴在购买等离子表面处理设备前,对于它的作用不是很清楚,不明白设备有什么用。为了更好地理解等离子表面处理设备的作用,首先我们应该了解一下等离子表面处理的原理。
等离子体表面处理是指非聚合性无机气体,如Ar、N2、O2、H2等等离子体对材料表面的物理或化学的作用过程。参与表面反应的有激发态分子、自由基和离子,也包括等离子体辐射紫外光的作用。
等离子体的能量可以通过光辐射、中性分子流和离子流作用于材料表面,这些能量的消散过程就是材料表面获得改性的过程。
低温等离子体能发出可见光、紫外光和红外光,其中紫外光不仅能被材料强烈吸收,并能使表面产生自由基,所形成的活性位置就会继续和等离子体中的气体组分发生化学反应,引起一系列的表面改性。中性粒子通过自身的自由基离解能引起材料表面各种化学反应(脱氢、氧化、加成)。离子流与表面撞击引起表面刻蚀和加热,也会引起与中性流类似的反应。
这三种作用共同组成低温等离子体改性材料表面的原理。简单点理解就是,气体激发成等离子体与材料表面发生物理或化学反应。