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● 全数字控制，匹配精度高，匹配时间短
● 采用真空电容，可靠性高，使用寿命长
● 结构紧凑，体积小，安装便捷
● 超宽匹配范围，可定制适配任意负载
● 具有手动/自动匹配功能
● 具有保持和预置设定功能
● 具有通讯功能，可独立连接上位机实时显示负载状态
| 输入 | 控制电压：AC230V±10% 或 DC24V | 输入接口：N型、HN、7/16 |
| 频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz | 传输功率：1.5kW～6kW | |
| 射频输出电压：4000Vpeak | 射频输出电流：25Arms～120Arms | |
| 输出 | 输出接口：7/16、B20N、铜排, 其他规格可定制 |
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| 性能指标 | 匹配时间：A系：端对端＜5s ,预设点到匹配点 1s~3s | 驻波：A系：＜1.2 C系：＜1.1 |
| 阻抗实部：1Ω～200Ω | 阻抗虚部：+200j～-200j | |
| 负载类型：IPC 或CCP | 外形尺寸：根据客户要求定制 | |
| 注：产品不断创新，性能继续提升，本参数说明仅供参考。 | ||
