P-726 PIFOC大负载物镜扫描台（Z轴）

刚度较高，专用于重量较大的物镜

性能：

重量较大的物镜的高动态定位、扫描

210g负载下，560Hz振动频率

物镜扫描定位，亚纳米精度，毫秒级响应时间

扫描行程：100um，分辨率0.3nm

采用电容传感器直接测量，线性度

无回差柔性铰链并联导向结构，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性

参数：

尺寸：60*50.7mm	重复精度：±3nm
目镜直径：M-32	推拉力：100/50N
闭环行程：100um	无负载下自振频率：1120Hz
传感器：电容传感器	刚度：3.4N/um
闭环分辨率：0.4nm	串扰（X,Y）:50nm
线性度：0.02%

应用：

3D成像

拍摄

显微技术

自聚焦系统

共聚焦显微系统

表面分析

晶片光刻检验