P-725 PIFOC Long-Travel Objective Scanner

支持多个行程，系统中配有控制器

性能：

物镜扫描定位，亚纳米精度，毫秒级响应时间

采用电容传感器直接测量，线性度

无回差柔性铰链并联导向结构，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性

采用PICMA压电陶瓷促动，超长寿命

支持多光子显微镜长行程扫描，扫描范围460um

通光孔径29mm

参数：

尺寸：46*40.5*68mm	重复精度：±5nm
目镜直径：39mm	推拉力：100/20N
闭环行程：100,250,400um	无负载下自振频率：470Hz
传感器：电容传感器	刚度：0.23N/um
闭环分辨率：达0.65nm	串扰（X,Y）:100um行程下串扰20nm
线性度：0.03%

应用：

3D成像

拍摄

干涉量度

度量衡

自聚焦系统

共聚焦显微系统

生物技术

半导体测试