μPhase® 500/ 100 - 灵活的干涉仪传感器

这些高度集成的移相Twyman- Green干涉仪传感器满足了现代质量管理的要求。结合μShape测量和分析软件，这些高性能精密测角仪提供了有关样品表面偏差或抱歉像差的信息。

μPhase有不同的波长

应用

*快速和非破坏性的单次测量； *高分辨率的相机； *轻松适应不同的样品反射率（μPhase®1000）； *能够专注于样品表面（μPhase®1000）； *用于校准的第二台相机； *模块化、结构紧凑； *坚固、耐用的防尘外壳； *标准检测波长632.8 nm； *可定制波长范围： 355 nm - 1064； *生产线与实验室兼容；

μPhase集成到车床中

μShape^TM干涉仪软件

每台μPhase®干涉仪都提供了一个应用的μShape软件版本，它用于测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面或波阵面的形貌，适用于μPhase®系统，也可以随时添加这些模块。 该软件控制和显示测量结果，存储和记录所有测量原始数据，并确保透明度和可追溯性。 凭借其清晰的驱动用户界面，μShape满足各种测量要求，并提供了几个扩展giant设备功能的模块。

*具有不同访问权限的不同用户级别； *敏感问题在线帮助 *轻松预设值所有测量和分析四任务； *圆形窗口可以以多种图形格式存储（bmp，jpg...）; *将单个参数货选定数据字段导出文本，二进制货其他常用文件格式（例如QED，Zygo,XYZ，DigitalSurf）已进行外部处理； *测量结果以二维或三维的参数或图形显示为横截面； *测量协议一目了然的显示结果，并且可以进行广泛配置，包括客户自定义配置； *常用的程序功能的快捷方式； *各种程序模式允许使用集成的实时相机图像并单独显示校准和测量过程及其参数； *使用μShape程序文件中的样本数据存储参数和设置，包括窗口大小和位置； *定期更新可持续改进，可根据要求提供或以软件统一提供。

为了便于测量扩展与进一步分析。μShape软件提供了多种拓展模块，如下所示：

*在球面或CGH设置中分析非球面；

*分析圆柱面或环面；

*外部通讯接口，允许外部程序控制干涉仪，如在自动化系统中；

*可检测玻璃板同质性；

*可聚焦或不同聚焦元件与系统的MTF分析；

*可一次测量多个孔径，如在抛光面上；

*同时统计分析多个孔径；

*棱镜和楔角的检测与分析；

*考虑已知样品偏差，例如光学设计的偏差；

*软件分析工具可弥补车床加工的误差；

*晶片分析；

*粗糙度与PSD分析；

*静态条纹分析，用于不稳定环境中进行快速测量；

软件附加项

Asphere分析模块

非球面模块在非球面设置中使用计算机生成的全息图来分析旋转对称的强非球面，在球面设置中分析弱非球面。可输入和存储非球面数据，支持多种格式，非球面拟合能够去除调整误差和系统设置误差。

Cylinder分析模块

Cylinder模块可在cylinrical设置中分析圆柱样品，圆柱型拟合能够去除误差。

外部接口模块

外部接口模块允许μShape和外部软件之间进行通讯，如LabVIEW。

光纤连接模块

光纤连接附加模块根据国际IEC惯例提供PC型光纤连接器端面分析，一次完成主要参数的测量并可选择显示“通过/不通过”结果。

同质性模块

在这一模块中，两个影响通过样品的光路的参数——同质性（折射率变化）和厚度变化能够被确定。

横向拼接模块

借助外部控制与分析程序μStitch，您的干涉仪可以在子孔径测量较大的平面或球面样品，并将它们拼接在一起，获得整体表面面型。依需求可添加横向定位系统。

数学模块

在这个模块中，不同的数据图可以通过数学计算分析生成附加结果图，暂不可进行矩阵操作。

多孔分析模块

该模块能够在一个视场范围内对未连接的子孔径进行测量和分析，例如测量固定在抛光面上的部分。

多重统计分析

当样品规格规定不同样品子区域的不同限制时，MultiStat模块可在一次测量中完成相关计算，并列出每个区域的结果。

棱镜分析模块

90°直角棱镜的角误差与楔角角度可通过分析角度偏差造成的干涉条纹图样测得。

样品标准数据模块

样品标准数据能够考虑附加的样品误差，例如，与设计相关的标准误差参数。

工具补偿模块

应用于μShape软件的工具补偿模块能够补偿转台的准直误差。

晶片模块

晶片分析允许将矩阵区域内尺寸的圆形孔径进一步分类，并通过计算平均值表征每个子区域。

Torus分析模块

在Torus软件的辅助下，附加环形样品在toric或spherical设置中被分析，余下的调整误差可通过环形拟合消除。

楔形分析模组

楔形分析模组使用待测样品后的辅助镜，可经一次测量确定平面镜与光学平板的楔角。

用户定制模组

TRIOPTICS开发了软件的干涉仪测量功能，并提供可定制的测量程序，计算特定的参数，依需求显示和输出数据。您可联系我们满足您的更多测量需求。

升级与配件

μPhase具有模块化的系统。其应用范围可通过升级软件与配件进行拓展，下列配件与功能都可以额外购买。

μPhase 500高分辨率

μPhase 500相机分辨率可被升级为1000 x 1000像素。该功能可在购买时或之后实现。

配件

多种测量配件

μPhase设备都具有卡口连接功能，可实现不同系统配置之间的快速和简便的交换，使干涉仪的应用范围在购买后仍可继续扩大。

平面、球面参考表面

各种直径的无涂层表面或镜面表面，以实现良好的对比度和测试目标适应性。

分析

不直接链接μPhaes 硬件也可以进行离线分析和文件整理。