μPhaes PLANO UP - 生产中检测平面零件的干涉仪设备

紧凑、稳定、具有成本效益的μPhase PLANO UP 干涉仪可被应用于生产中，该设备占地面积小，可被放置在生产机器旁，使样品在加工后能够被直接检测，μPhase PLANO UP向上测量平面样品，样品位于仪器的顶部。

*检测平面光学零件；

*样品直径：可达100mm；

*占地面积小；

*振动不敏感；

*在检测一系列样品时，不需要重新校准；

*直观简便的操作。即便是不熟练的员工也能操作；

μShape干涉仪软件

每个μPhase干涉仪都提供了一个应用的μShape软件版本。它用于测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面或波阵面的形貌，适用于生产，实验室和研究，附加模块可以使软件适应客户特定的需求，即使购买了μPhase系统，也可以随时添加这些模块。 该软件控制和显示测量结果，存储和记录所有测量原始数据，并确保透明度和可追溯性。 凭借其清晰的驱动用户界面，μShape满足各种测量要求。并提供了几个扩展μShape功能的模块。	μShape干涉仪软件

*具有不同访问权限的不同用户级别； *敏感问题在线帮助； *轻松配置的模板，用于类型的测量任务和分析； *图形窗口可以以多种格式存储（bmp，jpg...）; *将单个参数或选定数据字段导出为文本，二进制货其他常用的文件格式（例如QED，Zygo，XYZ，DigitalSurf）以进行外部处理； *测量结果以二维或三维的参数或图形显示为横截面； *测量协议一目了然地显示结果，并且可以进行广泛配置，包括客户徽标。 *常用的程序功能的快捷方式； *各种程序模式允许使用集成的实时相机图像单独显示校准和测量过程及其参数； *使用μShape程序文件中的样本数据存储所有参数和设置，包括窗口大小和位置； *定期更新可持续改进，可根据要求提供软件服务；

对于扩展的测量任务和进一步的分析，μShape软件提供了各种各样的附加模块，如果需要，可以由用户添加，其中包括：

*一次测量多个孔径，例如：在抛光磨头上；

*同时对多个孔径进行统计分析；

*棱镜和楔形测量和分析；光学设计造成的偏差；

*晶圆分析；

*静态条纹分析可在不稳定的环境下进行测量；

软件附加项

Asphere分析模块

非球面模块在非球面设置中使用计算机生成的全息图分析旋转对称的非球面，在球面设置中分析非球面，可输入和存储非球面数据，支持多种格式，非球面拟合能够除去调整误差和系统设置误差。

Cylinder分析模块

Cylinder模块可在cylindrical设置中分析圆柱形样品，圆柱形拟合能够除去调整误差。

外部接口模块

外部接口模块允许μShape和外部软件之间进行通讯，如 Lab VIEW。

光纤连接模块

光纤连接附加模块根据IEC惯例提供PC（物理接触）光纤连接器端面分析，一次完成主要参数的测量并可选择显示“通过/未通过”结果。

同质性模块

在这一模块中，两个影响通过样品光路的参数—同质性（折射率变化）和厚度变化能被确定。

横向拼接模块

借助外部控制与分析程序μStitch，您的干涉仪可以子孔径测量较大的平面或球面样品，并将它们拼接在一起。

数字模块

在这个模块中，不同的数据图可通过数字计算分析生成附加结果图。暂不可进行矩阵操作。

多孔径分析模块

该模块能够在一个视场范围内对未连接的子孔径测量和分析，例如测量固定在抛光磨头上的部分。

多重统计分析

当样品规格规定不同子区域的不同限制时，MultiStat模块可在一次测量中完成相关计算，并分列出每个区域的结果。

棱体分析模块

90°直角棱镜的角误差与楔角角度可通过分析角度偏差造成的干涉条纹图样测得。

样品标准数据模块

样品标准数据能够考虑附加的样品误差，例如：与设计相关的标准误差参数。

工具补偿模块

应用于μShppe软件的工具补偿模块能够补偿转台的准直误差。

晶片模块

晶片分析允许将矩形区域内尺寸的图形孔径进一步分类，并通过算数平均值表征每个子区域。

Torus分析模块

在Torus软件的辅助下，附加环形样品在toric或spherical设置中被分析，余下的调整误差可通过环形拟合消除，适合检测隐形眼镜和晶片模型。

楔形分析模组

楔形分析模组使用待测样品后的辅助镜，可经一次测量确定平面镜与光学平板的楔角。

用户定制模组

TRIOPTICS开发了软件的干涉测量功能，并提供可定制程序，计算特定参数，依需求显示和输出数据，您可联系我们满足您的更多测量需求。

升级和配件

μPhase具有模块化的系统，其应用范围可通过升级软件与配件进行拓展，下列功能都可额外购买。

μPhase 500高分辨率

μPhase 500相机分辨率可被升级为1000 x 1000像素。该功能可在购买时或之后实现。

配件

多种测量镜头

μPhase设备都具有卡口连接功能，可实现不同系统配置之间快速和简便的交换，使干涉仪的应用范围咋购买后可持续扩大。

平面、球面参考表面

各种直径的无涂层表面或镜面表面，以实现对比度和测试目标适应性。

分析

不直接连接μPhase硬件也可以进行离线分析和文档管理。