本设备是一款流量计，结合了供气侧（入口侧）的压力发生变化时可使恒定流量通过的恒定流量阀MODEL 2204，以及高精度流量计RK1400，从微小流量到中等流量都能进行高精度测量控制。
- 即使在流量计出口侧压力恒定的条件下，入口侧的压力发生变化，也能始终确保恒定的流量。
- 流量控制器是基于精密控制特性良好的2204制造的，即使在微小流量下也能顺利控制。
- 流量测量单元是基于高精度流量计RK1400制造的，可获得可靠性高的流量。
尺寸图
标准规格
| 流体名称 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（实际气体校正） 其他气体换算校正，实际气体校正请另行咨询 ※选项：2种流体刻度 |
|---|---|
| 流量范围（FS） | 1～10ML/MIN到1～10L/MIN 参考RK1400的容量列表 ※但是，以流量10L/MIN为限 |
| 精度 | 在FS±2％（测量点）一次压力（入口圧力）0.07Mpa～0.7MPa间0.3MPa的变化下，流量变化值在±2％以内 |
| 工作压差 | 入口-出口压差 需0.07MPa以上 |
| 耐压 | 05L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa |
| 有效刻度 | 10：1 |
| 材质 | SS制 | |
|---|---|---|
| 主体区块 | SUS316 | |
| 锥形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡胶 | |
| 浮标 | 硬质玻璃、SUS316 | |
| 保护罩 | 丙烯 | |
| 使用温度 | 60℃ | |
| 连接 | Rc1/4（标准） | |