FCL-200是一款专为控制液体流量而研发的液体流量控制器，接液部分均采用聚四氟乙烯材质，用于纯水条件下半导体工艺流程中流体的控制以及医药、食品相关方面的液体控制等。
- 接液部分均采用聚四氟乙烯材质，可将纯净的流体控制在一定流量范围内
- 采用专用新型阀门结构，几乎不会产生粒子
- 高温型可在80℃下进行控制
- 可通过RS232C进行通信操作
标准规格
| 使用流体 | 水、純水、超純水（其他液体请咨询） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 流量范围 | 0.4～2.0L/min（工作压差150kPa以上） | |||||
| 允许工作流体温度 | 10～35℃（常温）（可选：10～80℃） | |||||
| 测定精度 | ±1%F.S.（at25℃纯水校准） | |||||
| 重现性 | ±0.7%F.S.（at25℃纯水校准） | |||||
| 响应速度 | 阀门关闭→99%F.S.：2秒以内、99%F.S.→阀门关闭：2秒以内（at25℃纯水，压差＝150kPa条件下） | |||||
| 接液部分材质 | PTTA,PFA | |||||
| 供应压力 | 0.15～0.35MPa（泵脉动±50kPa以下） | |||||
| 耐压 | 0.6MPa（at25℃） | |||||
| 工艺连接件 | 3/8英寸（φ9.52×6.35） 日本支柱工业SUPER 300 Ptype接头 | |||||
| 专用电源电缆长度 | 3m | |||||
| 电缆外皮 | PVC | |||||
| 结构 | 与IP64同等（电装部分） | |||||
| 阀门结构 | 常开型 | |||||
| 允许周围温度 | 0〜50℃ | |||||
| 环境湿度 | 10～85%RH（无结露） | |||||
| 安装方向 | 自由（建议水平设置） | |||||
| 重量 | 约1.3kg | |||||
注意
本产品无法断开。
如需断开请在前端安装断开专用阀门。
请在本机前端安装过滤器等，避免混入异物。
使用流体中混入的气泡量超过5%时，输出流量精度可能会出现异常，请注意。
本规格可能会在未经通知的情况下发生变更。
电气规格
| 测定方式 | 卡门旋涡式 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 输入信号 | 4-20mA（0-2L/min） | |||||
| 输出信号 | 4-20mA（0-2L/min） | |||||
| 电源 | DC24V±5% | |||||
| 电源电压波动 | ±10%以内 | |||||
| 消耗电流 | 约200mA | |||||
| 通信功能（可选） | RS232C（电缆3m） | |||||
外形图
使用示例
专用电源电缆3m（线路布置）
