与MODEL6600相比，新开发的本仪器在低压侧精度更高，重现性更好，能够快速准确地进行压力调节。
本产品用于高灵敏度的分析仪器、研究开发或半导体制造设备。
- 具有低压侧高精度控制的特性
将压力设为0.01〜0.15MPa，在此条件下对于一次侧压力变化、二次侧负荷电阻变化，具有重现性在±1％以内的高控制性能。 - 不使用润滑油
接触气体部分由不锈钢、氟橡胶、氟树脂制成，不使用任何润滑油，需要保持纯净状态的半导体领域等。 - 防松螺母结构
通过防松螺母固定设定过一次的压力调节位置，可防止设定发生变化。 - 不渗液型
本产品属于不渗液型，不会发生气体外泄，请您放心使用。
用途
- 用于气相色谱仪
- 用于高纯度气体控制
- 用于低压控制设备
- 用于半导体领域等
尺寸图
标准规格
| 流体 | 各种气体 |
|---|---|
| 一次侧压力 | 0.4MPa |
| 二次侧控制压力 | 0.01〜0.15MPa |
| 流量 | 5L/MIN |
| 最小工作压差 | 0.1MPa以上 |
| 耐压力 | 0.8MPa |
| 重现性 | 在额定压力的±1％范围内 |
| 环境温度 | 5〜60℃ |
| 接口 | Rc1/8 |
| 流体接触部分材质 | SUS316、氟橡胶、硬质玻璃 氟树脂、SUS304、SUS303 |
流量特性
特殊规格
- 标准规格以外的接头。
订购方法
- 接口接头时，仅IN OUT接头。
仪表端口为止水栓。 - 压力表口等价于OUT口。
可任意将某处设为表口或OUT口。