传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）		N2，空气，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未描述的气体是N2当量校准）		空气，N2
流量范围（* 2）		10 SCCM到10 SLM	20至50 SLM （二氧化碳：20至30 SLM）	100,150 SLM	200,300 SLM	400,500 SLM（* 3）
控制范围		2~100％（F.S.）		5~100％（F.S.）
响应速度		总流量控制范围在1秒内 （wihtin±2％F。S.）		1.5秒或更短 10％或更少是3秒或更短 （在±2％F。内）	2秒或更短（±2％FS内）
		L：50.149kPa H：150.300kPa		L：150.249kPa H：250.350kPa	L：200。299kPa（* 9）H：300。350kPa
精度（* 4）		±1.0%F.S.			±2.0%F.S.
再现性		±0.25%F.S.			±0.5%F.S.
工作压差（* 5）		50至300千帕 （Ar，CO2：100至300 kPa）	100至300千帕 （Ar，CO 2：150至300 kPa）	150至350千帕	200 SLM：200至350 kPa 300 SLM：250至350 kPa	400 SLM：200至350 kPa 500 SLM：250至350 kPa
入口压力		500kPa(G)
耐压		980kPa(G)
He泄漏率（* 6）		1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下		1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下
温度	工作温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许工作湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316，SUS316L，磁性不锈钢，Ni，PTFE，PCTFE，FKM
电气连接		D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）， RJ-45模块化插孔x 2			D-sub 9针KFC标准（符合SEMI标准）， HR-10A×2
流量设定信号		0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号		0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信		使用RS485旋转开关设置地址：最多99（9600 bps）
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA， -15 VDC（±5％）：150 mA	+15 VDC（±5％）：150 mA， -15VDC（±5％）：250mA		24 VDC（±10％）：450 mA（DC插孔.D-sub）
接头（* 7）		1 / 4F 900（标准），1/4 UJR，Rc1 / 4		1/2 SW（标准），3/4 SW
安装姿势		推荐水平方向
重量（* 8）		约850g	约1000g	约2250g	约3500g

（* 1）应为干燥气体，清洁气体，无腐蚀性成分，灰尘，雾气等。

（* 2）流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下转换为质量流量cc / min和L / min的值。

（* 3）工作压力范围内的输出流量为1％或更低。

（* 4）流量范围的精度（满量程）。

（* 5）工作压差可能因规格而异。

（* 6）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa·m3 / sec以下。

（* 7）如需其他接头，请另行询问。

（* 8）没有配件的重量。

（* 9）300 SLM，500 SLM将为L：250。299 kPa。