本公司将具有出色的可重现性、耐用性的波纹管型膨胀阀用作分析仪器，独自研发出了这种精密压力调节阀。
本调节阀属于不渗液型，呈无油结构，所用气体不与大气接触，没有污垢，因此在标准气体、半导体领域等高纯度气体的压力控制方面是的。
- 无油结构
接触气体部分不使用任何润滑油，需要保持纯净状态的标准气体分析器与半导体领域等。 - 高精度
一次侧压力变化的重现性、二次侧负荷电阻变化的重现性在±1％以内，精度高。 - 高稳定性
均由金属零部件（如金属波纹管）构成，因此具有出色的耐用性，即使长期连续使用也可保持一定压力。 - 可实现低压差操作
可以通过20kPa的压差来控制一次侧供给压力和二次侧设定压力之间的压差。 - 不渗液型
本产品属于不渗液型型，不会发生气体外泄，请您放心使用。
用途
- 用于气体混合装置
- 用于高纯度气体控制
- 用于低压控制
尺寸图
标准规格
| 二次侧压力 设定范围 | 5330A 9.8〜294kPa 5330B 9.8〜588kPa |
|---|---|
| 一次侧压力 | 784kPa |
| 耐压力 | 784kPa |
| 重现性 | 在额定压力的±1％范围内 |
| 耐冲击性 | 在额定压力的±1％范围内 |
| 温度特性 | 0.8MPa |
| 重现性 | 在额定压力的1％/10℃范围内 |
| 环境温度 | 5〜60℃ |
| 接口 | Rc 1/4（标准）Rc1/8 |
| 流体接触部分材质 | （S）SUS304、氟橡胶、氟树脂 |
特殊规格
- 标准规格以外的接头。