本设备是更新了〈KOFLOC〉RK1200设计的用于整合设备的流量计。 它是一种高级阀门流量计,配有高精度流量计和能够精密控制流量的针阀。 是非常适用于计算控制微小流量的流量计。
- 可实现超小流量控制
它可以支持从0.5ML / MIN~3ML / MIN的超小流量到3~30L / MIN的流量的广泛范围。 - 使用精密针阀
根据所的流量和常用供应压力,能实现针阀的有效转速。 (可以控制细微的流量) - 种类丰富
流量计的总长度有四种尺寸,分别为126,156,206和256 mm,可根据用途进行选择。 - 下方阀门和上方阀门两种类型
有下方针阀型和上方针阀型两种。 请根据用途使用。 - 可用于水用
同时还制作了流量1L/MIN以下的水用流量计。
用途
- 用于整合设备
- 用于半导体相关的燃气设备
- 用于生物工业
- 用于真空管路控制
使用示例
尺寸图
标准规格
气体 | 流体 | ||
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流体名称 | Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(实际气体校准) 其他气体在转换后进行校准,实际气体校准请另行咨询 ※选项:2种流体刻度 | 标准流体(H2O) 其他气体在转换后进行校准 (但是,会产生与实际液体的误差。) | |
流量范围 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN(参考容量列表) ※选项:0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1~1 L / MIN(参考容量列表) ※选项:0.5~3ML / MIN | |
精度 | FS±2%(计量点)※选项:FS±1%(计量点) | FS±2%(计量点) | |
耐压 | 100ML / MIN以下:1.0MPa 5L / MIN以下:0.7MPa 10 L / MIN以上:0.5 MPa | 5ML / MIN以下:1.0MPa 150ML / MIN以下:0.7MPa 200ML / MIN以上:0.5MPa | |
有效刻度 | 10:1 ※选项20:1 |
材质 | SS制 | RS制 | |
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主体区块 | SUS316 | 黄铜 | |
锥形管 | 硬玻璃 | ||
密封材料 | 氟橡胶 | NBR | |
浮标 | 硬质玻璃,SUS316 | ||
保护罩 | 丙烯 | ||
使用温度 | 60℃ | ||
连接端口 | Rc1 / 4(标准) |
容量列表
可选规格
- F.S. ±1%(计量点)
- 0.5~3ML / MIN Air(大气压)规格 注)全长为126mm的情况。
- 全氟醚橡胶O型圈规格 注)没有用于关闭针部的O型圈。 注)气体1L / MIN以下无过滤器。
- 双刻度规格
- 20:1刻度规格