微位移测量激光干涉仪

微位移测量激光干涉仪

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2015-09-01 23:28:23
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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司

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产品简介

详细介绍

 
产品名称：微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪
产品型号：ZLM800
产品产地：德国
制 造 商：德国耶拿尔测量技术有限公司
 
详细介绍:

    ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪，主要用于微位移部件的测量，角度变化量的监测，移动平台运动情况的检测，及光刻机几何量的测量，数控机床几何量的测量，zui多可实现六轴联动。具有以下性能优势：
l  真正意义上的双频激光干涉仪，两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别，*双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l  全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l   激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l  干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l  计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l  采样频率更快，zui高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l  被测物体zui大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l   无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l  信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l  对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，ZLM800型是理想的选择。

技术参数
型号：ZLM800
使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长：
632.8 nm
激光稳频精度：
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：
±0.4ppm
光束直径：
6mm （可选3.2mm）
激光管突发zui大输出功率：
1mW （激光等级2）
每束光可测量的轴数：
zui多6个
线性测量距离：
40m，可扩展为120m
角度测量范围：
± 15°，20m轴线范围
平面度测量范围：
20m行程
直线度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
zui大速度：
4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
无限制
zui高采样频率：
内部1MHz，外部40MHz
预热时间：
10分钟
精度/非线性：
±0.3nm （角隅反射镜）
±0.1nm （平面反射镜）
距离测量分辨率：
0.6nm （角隅反射镜）
0.3nm （平面反射镜）
0.1nm 可选
距离测量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK时
（20°±0.5°） 真空中时
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
线性度测量分辨率：
0.6nm （角隅反射镜）
0.3nm （平面反射镜）
0.1nm 可选
线性度测量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK时
（20°±0.5°） 真空中时
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度测量精度：
±0.5ppm实测值
角度测量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度测量精度：
±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度测量精度：
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直线度测量精度：
±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：
±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
数据接口：
积分信号
32 Bit （实时时间）
Dt » 20 ns
数据分析标准：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境：
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝

应用案例
以下是为*设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用案例。在*个案例中，用两个3轴角度干涉仪分别监视两个摆镜的摆动，实时测试两个摆镜对应量（俯仰、偏摆和位移）的差异情况。在第二个案例中，用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况，2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。


 
以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中，密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被监视目标Ⅰ、被监视目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量，以及这两个目标在Z方向的相对变化量。


ZLM800部分光路图示例和部件示意图

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