l 真正意义上的,两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“”的区别。*精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。
l 全部部件皆在德国生产制造,绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜,是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 测量系统采用模块化设计,各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能(如仅测量直线度),则仅采购所需功能部分的光学部件(直线度光学镜),其他不需要的功能暂时可以不采购;若后期有其他功能的需求,补充采购功能对应的部件即可。
l 激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整,调整结果更准确。
l 采样频率更快,zui高达1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体zui大速度16m/s(可选);采用高精度AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可高达为0.1nm)。
l 无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l 信号延时<200ns;对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,请选用ZLM800型,zui多可实现六轴联动。