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产品功能
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的测量系统可以定做；工作台zui大承载重量40Kg。
产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。
应用范围
* 机械密封的平面度和粗糙度测量；
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；
* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；
* 造纸行业对纸张表面的纹理分析；
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；
* 压花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌测量分析；
* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物科研等；
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；
* 法医学上三维表面形貌测量分析；
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；
* 沟槽深度和截面计算分析；
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。
产品介绍
英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪zui大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，垂直测量分辨率zui高可达到5nm，zui小测量范围0-110μm，zui大测量范围0-50mm。
Proscan 2000以花岗岩为工作平台，是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用于各种表面轮廓和形貌特征精确测量分析的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm（长）X100mm（宽），使用色差传感器，每秒可测量1000个数据点，使用三角激光传感器每秒可测量10000个数据点，对被测件平面的扫描点数zui多可达576万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。
产品特点
* 花岗岩框架结构，受热胀冷缩影响非常小，基本没有振动。
* 配套软件可以以二维或三维的方式对数据进行形貌分析。
* 数据分析结果方便导出，导出格式有ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 数据分析也可选择二维X-Y平面视图，还具有三点平面修正和自动水平功能。
评定参数
Am 轮廓算术平均值
Ra 轮廓算术平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微观不平度十点高度
Rmax 轮廓zui大高度
Rp 平均轮廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度zui大值
Rvm 谷值深度zui大值
R3z 算术平均第三峰谷间高度
Wt 波形深度总值
Pt 轮廓深度总值
Nr 峰值计数归一
Tpa 材料支撑率（宏）
D 峰值密度
S 轮廓单峰平均间距
Sm 轮廓微观不平度平均间距
Lm 取样长度
共面性
Warpage滤波器，过滤表面粗糙度数据，而仅保留轮廓数据
Surface滤波器，过滤表面轮廓数据，而仅保留粗糙度数据
对单点进行编辑
在X和（或）Y轴上进行插值
半径计算
体积计算
表面积计算
截面积计算
三维轮廓显示
技术规范
| 扫描仪zui大尺寸（长*宽*高） | 740*542*（780-835）mm |
| 扫描仪zui大重量 | 40Kg |
| 电控部分尺寸 | 570*700*750mm |
| 电控部分重量 | 40Kg |
| 计算机显示器 | 15” LED显示器 |
| 照明与定位摄像头（可选） | 14” CRT |
| 扫面平台尺寸 | 380*280mm |
| X和Y轴行程 | 150mm*100mm |
| Z轴行程 | 100mm |
| 电源 | 220 - 240 VAC, 50/60Hz |
| 使用环境 | 10-35℃ |
| X及Y轴扫描点zui小间隔距离 | 1μm |
| X及Y轴扫描点zui大间隔距离 | 9.999mm |
| 标准配置扫描样品zui大重量 | 6Kg |
| 数据采集zui大速度（取决于传感器及设定） | 20000点/秒 |
| zui大扫描速度（取决于传感器及设定） | 80mm/秒 |
| 回程速度 | 100mm/秒 |
| zui大扫描点数 | 576万点 |
传感器选型方案
| 传感器 型号 | 垂直 测量范围 | 物镜测量距离 mm | 分辨率 | 线性度 （%+/-量程） | 技术 原理 |
| S3/011 | 110μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
| S11/03 | 300μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
| S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
| S16/2.5 | 2.5mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
| S29/10 | 10mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
| S20/20 | 20mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技术 |
| L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角测量技术 |
| L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角测量技术 |
| L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角测量技术 |
| L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角测量技术 |
各种可选项
* 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查；
* 其他各种传感器；
* 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合；
* 比标准的X和Y行程范围更大的测量平台。
产品尺寸图
应用举例
一、电子元件的形貌检查
电子元件的原貌
对单个BGA的扫描结果
100%检测BGA（包括穴距）和倒装芯片的包装情况，自动分析共面性、球面高度、球的位置和包装扭曲情况；分析丝焊高度和轮廓；亚微米级分辨率，三维图形显示平均、zui大和zui小深度。
二、部件表面粗糙度测量
被测部件原貌
扫描后的结果分析
精确分析被测部件的表面纹理、波面度和形态特征，符合ISO和DIN的粗糙度参数分析标准，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可测量出平面度、表面积、体积、承载比和部件的精确尺寸。
三、纸张类表面的纹理分析
扫描前的产品原貌
扫描后的分析图
对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。
视频资料
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光学式表面粗糙度轮廓形貌仪2000.pdf
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