主要型号：

主要特点：
   A 可选择三角波、矩形波、正弦波三种波形，波形的值和值可独立设置。
   B输出电压范围：-40V~+40V。
   C波形频率范围：0.1-50Hz
   D三角波、矩形波占空比10%~90%
   E 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
采用的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，
具有的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

主要用途：

MS系列励磁多波形电源选择多种电压波形输出。通过驱动多弧靶外围磁场线圈，产生周期性可变磁磁场，使多弧辉光由原来的集中放电变为均匀放电，提高工件膜层质量