主要型号：

主要特点：
   A具有行动稳定电压功能，具有理想的电压陡降特性，有效抑制离子源源头表面打火。
   B 直流叠加脉冲输出，峰值可达2000V。
   C 频率40kHz，占空比45%~90%。
   D 可选择手动控制/模拟量接口控制，可选配RS485通讯接口。
采用的PWM脉宽调制技术，使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件，
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠，生产工艺严格完善。
该系列产品采用的DSP控制系统，充分保证镀膜工艺的重复性，
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能，具
有的负载匹配能力，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度；
主要参数均可大范围连续调节；
方便维护，可靠性高；
PLC接口和RS485接口扩展功能，方便实现自动化控制。

主要用途：

ISDP离子源电源适用于阳极层离子源驱动电源。