MSD系列直流磁控溅射电源

MSD系列直流磁控溅射电源

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-09-19 10:32:18
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中山市昊源电器设备有限公司

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产品简介

主要型号:型号功率(kW)工作电流(A)外形尺寸冷却方式空载电压(V)工作电压(V)MSD-10k1012

详细介绍

主要型号:

型号

功率

(kW)

工作

电流(A)

外形

尺寸

冷却

方式

空载电压

(V)

工作电压

(V)

MSD-10k

10

12.5

1单元

风冷

480*243*565

(WHD)

1000

150~800V

MSD-20k

20

25

1单元

MSD-30k

30

37.5

2单元

MSD-40k

40

50

2单元

MSD-20k

20

25

1单元

风水冷

480*280*580

(WHD)

1000

150~800V

MSD-30k

30

37.5

1单元

MSD-40k

40

50

1单元

MSD-60k

60

75

2单元

MSD-80k

80

100

2单元

MSD-100k

100

125

3单元

MSD-120k

120

150

3单元

主要特点:
   A 采用的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,
同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
   B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,
更能保证镀膜工艺的重复性。
   C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
   D 主要参数可大范围调节
   E 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
   F 采用进口大功率IGBT&MOS模块
采用的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。


主要用途:

直流磁控溅射用于镀制各种金属


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