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系列设备均配有漂洗、双面刷洗、兆声清洗、N2吹干、高速甩干功能
PLC系统,触摸屏控制,一键式自动完成刷洗清洗加工,其中连线式设备配有全自动上下片系统,cassette to cassette使用更加方便
通过更换夹具,可兼容4-12英寸晶圆
尽量减少洁净间的占地面积
规格/型号 | Cleaner 412S | Cleaner 412R | Cleaner 426L | Cleaner 812L |
清洗工位 | 单腔单工位 | 转位式4工位 | 连线式6工位 | 连线式6工位 |
上下片 | 手动 | 手动 | 全自动 | 全自动 |
晶圆尺寸 | 4-12英寸 | 4-12英寸 | 4-6寸 | 8-12寸 |
漂洗(预清洗) | DIW冲洗 | DIW冲洗 | DIW冲洗 | DIW冲洗 |
刷洗机构 | 2个PVA刷,双面刷洗 | 2个PVA刷,双面刷洗 | 2个PVA刷,双面刷洗 | 2个PVA刷,双面刷洗 |
PVA刷转速 | 30- 200rpm | 30-200rpm | 30-300rpm | 30-300rpm |
PVA刷间隙 | 可调 | 可调 | 可调 | 可调 |
兆声清洗 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
N2吹干 | 有 | 有 | 有 | 有 |
高速甩干 | Max2000rpm | Max2500rpm | Max2500rpm | Max2500rpm |
控制系统 | PLC | PLC | PC | PC |